低温抽气是目前获得洁净真空环境的一种快捷而有效的方法。低温泵的抽速大，通常用在不能高温烘烤除气的真空系统。从抽气系统结构来看，低温泵系统类似于离子泵系统。为了无污染粗抽真空，还可以配接吸附泵。但是这种结合并不适用于抽除大量的惰性气体，例如氩气。而且虽然低温板易抽气，但当低温泵需要再生时，会给吸附泵造成困难。由于前级泵只在起始抽气期间使用，所以污染极少。
低温泵抽气系统不需要前级泵，仅需要粗抽泵，低温抽气的真空室在到达切换压力之前是用粗抽泵进行抽气的。当达到切换压力后关掉粗抽阀并打开高真空阀。真空室可在安全的压力范围内地被转换上低温泵抽气。如果用机械泵粗抽，则真空室切换到低温泵抽气转换所允许的最低压力是由防止机械泵返油的要求决定的。泵的低温抽气表面应具有相当大的热容量，它们能接纳“突发”的气体而不产生不可逆升温。
真空泵应用于全自动真空包装机中，真空保鲜主要是食品处于真空气氛中，氧气很少，食品保鲜程度及货架寿命高，还能进行真空充气包装，这种包装手段对易碎、脆性食品特别有利，充进包装容器中的气体不仅能抑制霉菌的生长，同时起到对外界挤压的缓冲作用。